・EFEM内の湿度を低減し、ウェーハ表面の欠陥発生や不要な酸化を最小限に抑えることで
　歩留まり向上を実現

・既存のEFEMから短時間で改造することが可能

・追加のユーティリティ (N2 または CDA) なしで「N2 EFEM環境」を実現

・コスト削減に寄与します