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半導体関連装置

高圧水素アニール装置

概要

・高圧H2/D2アニールは不純物(炭素、窒素)を低減させ、膜質の改善によりセル特性が
​　向上します

特徴

・セル電流、信頼性が向上

・ダングリングボンドが減少

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